彩色共焦传感器提供具有挑战性的材料的精确测量

HPS-CF系列色差共焦位移传感器是一种非接触式位移传感器,具有纳米级精度。它不受被测物体的材料、形状、颜色和反射的影响,适用于各种高精度测量应用。此外,还可以实现超大角度测量和同轴测量。此外,多层材料测量算法可以测量透明/半透明多层材料的厚度或间隙。位移测量,台阶高度测量,轮廓测量也可以实现。

具体的应用场景包括锂电池镀膜厚度测量、晶圆厚度测量、手机芯片和曲面玻璃测量、主板测量、液晶基板玻璃的厚度和平直度测量、玻璃瓶厚度测量、相机镜头厚度测量、胶水厚度测量、孔深测量,太阳能电池板测量。

一套传感器包含一个控制器和一个探头/传感器头。控制器有3种型号,探头有11种型号。HPS-CF4000控制器可同时支持4个探头,单个探头的最大测量频率可达到6.3kHz。另一种型号HPS-CF1000可以只连接一个探头,但采样率可以达到72kHz。

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