Micro System Analyzer提供Si-Lapped MEMS动态的光学表​​征

可视化动态响应是测试和开发MEMS设备的关键。这对于验证FE计算并确定串扰效果是必不可少的。来自Polyga的新型创新和专利的MSA-650虹膜微系统分析仪通过通过硅封装在没有接触的情况下表征面内和平面外运动来测量真实的MEMS动态,无需准备或拆卸设备。

在制造过程中的MEMS覆盖的步骤可能导致额外的应力,这可能会改变设备性能。因此,需要在最终和封装状态下对MEMS器件的全面表征是必不可少的。

硅封装MEMS的模态测试

PolyGA MSA-650集成到MPI探针站中

激光多普勒 - 振动器(LDV)是一种熟悉的技术,以研究MEMS的机械动态,最精确。然而,大多数激光振动器在可见波长下工作,硅封装是不透明的并且抑制MEMS检查。因此,通过可见波长的这种MEMS的LDV测试需要未封装的MEMS或覆盖设备。

使用专用的IR相机和低相干SLD源MSA-650 IRIS是第一个测量系统,其中具有该技术,可在封装的硅MEM上测量面内振动,下降至30nm分辨率和实时外平面振动高达25 MHz,薄皮镜分辨率和下方。Polytec的全新干涉仪技术现在,由于盖式MEMS器件中的各个设备层的卓越分离,可提供最高数据质量。

高性能激光多普勒振动计通过子PM位移分辨率提供快速,实时响应测量。集成的频闪视频显微镜使平面内运动的直接表征和实际动画能够。而白光干涉仪选项在几秒钟内提供数百万个3D表面数据。

想要查询更多的信息:www.polyga.com.

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